[M] VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
Creator: 伊藤, 隆司 石川, 元 中村, 宏昭 Publisher: 丸善 (Date of publication: 1986-09)

• Detail

Series statement:	電子材料シリーズ
Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	xii, 250p ; 22cm
Subject:
Classification:	UDC: 539.216
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784621031124 NCID: BN00435789
Abstract:
Note:	各章末:文献

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
529664	Namiki	Books 11	I|寄贈|	Available On Shelf

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