[M] VLSIの薄膜技術

伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著
著者: 伊藤, 隆司 石川, 元 中村, 宏昭 出版者: 丸善 (出版日: 1986-09)

• 書誌詳細

雑誌・シリーズ情報:	電子材料シリーズ
形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	xii, 250p ; 22cm
件名:
分類:	UDC: 539.216
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識別子:	ISBN: 9784621031124 NCID: BN00435789
アブストラクト:
注記:	各章末:文献

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
529664	並木	単行書11	I|寄贈|	在架（利用可能）

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