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[M]
MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用
東レリサーチセンター調査研究部門制作
Creator: 東レリサーチセンター調査研究部門 Publisher: 東レリサーチセンター (Date of publication: 2004-05)
| Series statement: |
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| Form: |
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | 8, iv, 383p ; 30cm |
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| Identifier: |
NCID: BA70523925
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| Abstract: | |
| Note: |
引用文献あり |
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