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MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用 
東レリサーチセンター調査研究部門制作
著者: 東レリサーチセンター調査研究部門 出版者: 東レリサーチセンター (出版日: 2004-05)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 8, iv, 383p ; 30cm |
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| タグ: |
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| 識別子: |
NCID: BA70523925
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
引用文献あり |
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