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Journal of Vacuum Science & Technology A Vol.22 No.4-6 
出版者: American Vacuum Society
(出版日: 2004)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology A |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: Vol.22 号: No.4-6 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1087p; 28cm |
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| 識別子: | ISSN: 07342101 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
