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Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.21 No.1-3 
出版者: American Vacuum Society
(出版日: 2003)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: Vol.21 号: No.1-3 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1p; 28cm |
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| 識別子: | ISSN: 0734211X |
| アブストラクト: | |
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