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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication 
by T. Makabe and Z. Petrović
著者: 真壁, 利明 Petrović, Z. (Zoran Lj) 出版者: Taylor & Francis (出版日: 2006)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 339 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780750309769
NCID: BA76918777
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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