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[M] Plasma Electronics : Applications in Microelectronic Device Fabrication (Series in Plasma Physics)
著者: T. Makabe and Z. Petrov 出版者: Taylor & Francis
(出版日: 2006)
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 339p; 24cm |
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識別子: | ISBN: 9780750309769 |
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