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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

代替タイトル	J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN	0734211X
NCID	AA10635106

所蔵情報	【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8
注記	【配架場所】並木集密書庫27 継続前誌：Journal of vacuum science and technology 継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.23 No.1-2

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132857	並木	集密書庫27	\|\|28670	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.22 No.5-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132160	並木	集密書庫27	\|\|27973	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.22 No.3-4

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132159	並木	集密書庫27	\|\|27972	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.22 No.1-2

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
132158	並木	集密書庫27	\|\|27971	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.21 No.1-3

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
131459	並木	集密書庫27	\|\|27271	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.21 No.4-6

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
131460	並木	集密書庫27	\|\|27272	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.20 No.1-3

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
130796	並木	集密書庫27	\|\|26608	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 19 1-3

(2001)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
530348	並木	集密書庫27	\|\|21514	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 19 4-5

(2001)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
530349	並木	集密書庫27	\|\|21515	在架（利用可能）貸出不可

Journal of Vacuum Science & Technology B 19 6

(2001)

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
530350	並木	集密書庫27	\|\|21516	在架（利用可能）貸出不可