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[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society 定期刊行物 冊子体


出版者: American Institute of Physics

代替タイトル J. vac. sci. technol., B, Microelectronics process. phenom//Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Journal of vacuum science and technology. B, Microelectronics processing and phenomena//Microelectronics processing and phenomena
ISSN 0734211X
NCID AA10635106
所蔵情報

【並木】＜年次:1983-1990＞Vol.1-8

注記

【配架場所】並木 集密書庫27
継続前誌：Journal of vacuum science and technology
継続後誌：Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena

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71 Journal of Vacuum Science & Technology B 3 1-3 冊子体
(1985)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512092 並木 集密書庫27 画像 ||11773 在架（利用可能）
貸出不可
72 Journal of Vacuum Science & Technology B 3 4-6 冊子体
(1985)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512093 並木 集密書庫27 画像 ||11774 在架（利用可能）
貸出不可
73 Journal of Vacuum Science & Technology B 2 1-4 冊子体
(1984)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512091 並木 集密書庫27 画像 ||11146 在架（利用可能）
貸出不可
74 Journal of Vacuum Science & Technology B 1 1-4 冊子体
(1983)
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
512090 並木 集密書庫27 画像 ||10581 在架（利用可能）
貸出不可