[M] Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society

出版者: American Institute of Physics

1	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.31 No.1-3 (2013) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134997 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
2	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.31 No.4-6 (2013) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134998 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
3	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.30 No.1-3 (2012) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134995 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
4	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.30 No.4-6 (2012) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134996 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
5	Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena 29 1-3 (2011) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134801 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
6	Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena 29 4-6 (2011) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134802 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
7	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.28 No.4-6 (2010) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134771 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
8	Journal of Vacuum Science & Technology B Vol.28 No.1-3 (2010) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134770 並木 集密書庫27 在架（利用可能） 貸出不可
9	Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(1-2) American Vacuum Society American Institute of Physics (2009) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134676 並木 集密書庫27 ||30489 在架（利用可能）
10	Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(3-5) American Vacuum Society American Institute of Physics (2009) 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 134677 並木 集密書庫27 ||30490 在架（利用可能）

資料の形態

• 冊子体 (74)

図書館

• 並木 (74)

コレクション

言語

• English (74)

出版日

• 2010 - 2019 (8)
• 2000 - 2009 (26)
• 1990 - 1999 (28)
• 1980 - 1989 (12)

予約可能

• いいえ (71)
• はい (3)