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Journal of Microelectromechanical Systems 18(4-6) 
出版者: Institute of Electrical and Electronics Engineers American Society of Mechanical Engineers
(出版日: 2009)
| 定期刊行物: | Journal of Microelectromechanical Systems |
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| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: 18(4-6) |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 28 |
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| タグ: |
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| 識別子: | ISSN: 10577157 |
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| 注記: |
