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Journal of Microelectromechanical Systems 18(4-6) 
出版者: American Society of Mechanical Engineers, Institute of Electrical and Electronics Engineers (出版日: 2009)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 版: | |
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| 巻号: | 巻: 18(4-6) |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 28 |
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| 識別子: | ISSN: 10577157 |
| アブストラクト: | |
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