[M] Journal of Vacuum Science & Technology. 2nd series. A, Vacuum, Surfaces, and Films 27(4-6)

出版者: American Vacuum Society, American Institute of Physics (出版日: 2009)

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版:
巻号:	巻: 27(4-6)
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	29
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識別子:	ISSN: 07342101
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134675	千現	集密書庫	||30488	在架（利用可能）

• [M] Journal of Vacuum Science & Technology A

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