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[M] Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(3-5) 定期刊行物 冊子体

出版者: American Institute of Physics American Vacuum Society (出版日: 2009)

版:
巻号: 巻: 27(3-5)
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 29
件名:
分類:
識別子: ISSN: 0734211X
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
134677 千現 集密書庫 画像 ||30490 在架(利用可能)