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Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(3-5)
出版者: American Institute of Physics American Vacuum Society (出版日: 2009)
版: | |
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巻号: | 巻: 27(3-5) |
形態: |
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言語: | English |
ページ数と大きさ: | 29 |
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分類: | |
識別子: | ISSN: 0734211X |
アブストラクト: | |
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