[M] Journal of Vacuum Science & Technology. Second series. B, Microelectronics and Nanometer Structures, Processing, Measurement and Phenomena 27(3-5)

出版者: American Vacuum Society American Institute of Physics (出版日: 2009)

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定期刊行物:	Journal of Vacuum Science & Technology B
版:
巻号:	巻: 27(3-5)
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	29 ; 29.0 cm.
件名:
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識別子:	ISSN: 0734211X
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
134677	千現	集密書庫	||30490	在架（利用可能）

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