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Materials Science of Microelectromechanical Systems (MEMS) Devices Ⅳ: Symposium held November 25-28, 2001, Boston, Massachusetts, U.S.A.; MRS Vol.687 Vol.687 Vol.687 editors, Arturo A. Ayon, Thomas E. Buchheit, Harold Kahn [et al.] Materials Research Society (MRS) (2002) UDC: MRS 所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態 219241 千現 プロシーディングス26 MRS|P|11734 在架（利用可能）

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資料の形態

• 冊子体 (1)

図書館

• 千現 (1)

コレクション

言語

• English (1)

出版日

• 2000 - 2009 (1)

予約可能

• はい (1)

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