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Chemical-Mechanical Planarization : Symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.767 Vol.767 Vol.767
editors；Duane S. Boning, Katia Devriendt, Michael R. Oliver [et al.]
Materials Research Society (MRS)
(2003)
UDC: MRS
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