[M] 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

金原粲 [ほか] 編
Creator: 金原, 粲 Contributor: 金原 粲 [ほか] Publisher: リアライズ社 (Date of publication: 1992-03)

Manifestation: 薄膜の力学的特性評価技術 : トライボロジー・内部応力・密着性

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