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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
著者: 益, 一哉 年吉, 洋 町田, 克之 出版者: シーエムシー出版 (出版日: 2012-11)
| 代替タイトル: | Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications//High technology information |
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | ix, 279p ; 27cm |
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ISBN: 9784781305868
NCID: BB1082106X
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| 注記: |
参考文献あり |
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