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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 
著者: 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修 出版者: シーエムシー出版 (出版日: 2012-11)
| 代替タイトル: | Integration technology for heterogeneous advanced devices |
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | ix, 279p ; 27cm |
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| 識別子: | ISBN: 9784781305868 |
| アブストラクト: |
