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[M] 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 冊子体

著者: 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修 出版者: シーエムシー出版 (出版日: 2012-11)

代替タイトル: Integration technology for heterogeneous advanced devices
形態: 冊子体 冊子体
言語: 日本語
ページ数と大きさ: ix, 279p ; 27cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9784781305868
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
600058 千現 単行書11 画像 621.3|M 在架(利用可能)