資料の表示
[M]
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSIの融合 
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
著者: 益, 一哉 年吉, 洋 町田, 克之 出版者: シーエムシー出版
(出版日: 2012-11)
| 代替タイトル: | Integration technology for heterogeneous advanced devices |
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | ix, 279p ; 27cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
|
| 識別子: | ISBN: 9784781305868 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
|---|
