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Journal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena 29 1-3 
(出版日: 2011)
| 定期刊行物: | Journal of Vacuum Science & Technology B |
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| 版: | |
| 巻号: | 巻: 29 号: 1-3 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 29.0 cm. |
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| 識別子: | ISSN: 0734211X |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
