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[M] Defect control in semiconductors : proceedings of the International Conference on the Science and Technology of Defect Control in Semiconductors, the Yokohama 21st century forum, Yokohama, Japan, September 17-22 1989 Volume II 冊子体

著者: edited by K. Sumino 出版者: North-Holland (出版日: 1990)

版:
巻号: 巻: Volume II
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 1 v. ; 27 cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9780444884299
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
600119 並木 単行書15 画像 621.315|S|2 在架(利用可能)