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Handbook of ion implantation technology 
edited by J.F. Ziegler
著者: Ziegler, J. F. 出版者: North-Holland
| 代替タイトル: | Ion implantation technology |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | vii, 700 p. ; 25 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780444897350
NCID: BA18974475
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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