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[M] Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies 冊子体

edited by Yves Pauleau
著者: 出版者: Kluwer Academic (出版日: 2002)

代替タイトル: Proceedings of the NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September, 2001
雑誌・シリーズ情報:
  • NATO science series, Sub-series II, Mathematics, physics and chemistry v. 55
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xiii, 363 p. ; 25 cm
件名:
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識別子: ISBN: 9781402005251
アブストラクト:

注記:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
602722 千現 単行書5 画像 539.216|P| 在架（利用可能）