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Handbook of sputter deposition technology : principles, technology, and applications 
by Kiyotaka Wasa and Shigeru Hayakawa
著者: Wasa, Kiyotaka Hayakawa, Shigeru 出版者: Noyes Publications
(出版日: 1992)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xii, 304 p. ; 25 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780815512806
NCID: BA2181598X
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