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[M] Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications
by Hugh O. Pierson
著者: Pierson, Hugh O. 出版者: Noyes Publications
(出版日: 1999)
版: | 2nd ed |
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巻号: | |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | xxiv, 482 p. ; 25 cm |
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ISBN: 9780815514329
NCID: BA50973678
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