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Handbook of chemical vapor deposition (CVD) : principles, technology, and applications 
by Hugh O. Pierson
著者: Pierson, Hugh O. 出版者: Noyes Publications
(出版日: 1999)
| 版: | 2nd ed |
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| 巻号: | |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xxiv, 482 p. ; 25 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780815514329
NCID: BA50973678
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