[M] Chemical Vapor Deposition : Thermal and Plasma Deposition of Electronic Materials

S. Sivaram
著者: Sivaram, Srinivasan 出版者: Springer (出版日: 1995)
https://doi.org/10.1007/978-1-4757-4751-5

• 書誌詳細

形態:	オンラインリソース
言語:	English
ページ数と大きさ:	xii, 292 p.
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識別子:	ISBN: 9781475747515 DOI: 10.1007/978-1-4757-4751-5
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