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Microelectromechanical Structures for Materials Research : Symposium held April 15-16, 1998, San Francisco, California, U.S.A. : MRS Vol.518 Vol.518 Vol.518 
著者: editors: Stuart Brown , John Gilbert , Henry Guckel [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 1998)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.518 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 248p; 24cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: | ISBN: 9781558994249 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 218007 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|10798 | 在架（利用可能） |