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[M]
Ion implantation in semiconductors : silicon and germanium 
[by] James W. Mayer, Lennart Eriksson and John A. Davies
著者: Mayer, James W. Eriksson, Lennart Davies, John Arthur 出版者: Academic Press (出版日: 1970)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiii, 280 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9780124808508
NCID: BA18163723
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| 注記: |
Includes bibliographical references |
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