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Ion implantation in semiconductors and other materials : [proceedings] 
edited by Billy L. Crowder
著者: International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials, 3d, Yorktown Heights, N.Y., 1972 Crowder, Billy L. 協力者・編者: edited by B.L. Crowder 出版者: Plenum Press (出版日: 1976)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xii, 657 p. ; 26 cm |
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ISBN: 9780306307560
NCID: BA11291601
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| 注記: |
Includes bibliographical references |
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