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Handbook of thin film process technology 
editors, David A. Glocker, S. Ismat Shah
著者: Glocker, David A. Shah, S. Ismat 出版者: Institute of Physics Pub. (出版日: 1995)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1 v. (various pagings) ; 31 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780750303118
NCID: BA25838659
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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