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Handbook of thin film process technology
editors, David A. Glocker, S. Ismat Shah
著者: Glocker, David A. Shah, S. Ismat 出版者: Institute of Physics Pub. (出版日: 1995)
形態: |
![]() |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 1 v. (various pagings) ; 31 cm |
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ISBN: 9780750303118
NCID: BA25838659
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アブストラクト: | |
注記: |
Includes bibliographical references and index |
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