[M] Handbook of Thin Film Process Technology

著者: Glocker.D.A. Shah.S.I' 出版者: Institute of Physics (出版日: 1995)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	28
件名:
分類:	UDC: (03)539.23
識別子:
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
523100	並木	参考図書1	(03)539.||05234	在架（利用可能） 貸出不可