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The physics of microfabrication 
Ivor Brodie and Julius J. Muray
著者: Brodie, Ivor Muray, Julius J. 出版者: Plenum Press (出版日: 1982)
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xix, 503 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9780306408632
NCID: BA01461465
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Bibliography: p. 471-489//Includes index |
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