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Electron microscopy of semiconducting materials and ULSI devices : symposium held Aprl 15-16, 1998, San Francisco, California, U. S. A. 
editors, Clive Hayzelden, Crispin Hetherington, Frances Ross
著者: Hayzelden, Clive Hetherington, Crispin Ross, Frances 出版者: Materials Research Society (出版日: 1998)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 270 p. ; 24 cm |
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ISBN: 9781558994294
ISSN: 02729172
NCID: BA37860961
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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