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[M] Silicon Front-End Technology-Materials Processing and Modelling: Symposium heldApril 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.532 Vol.532 Vol.532
著者: editors: Nicholas E.B. Cowern, Dale C. Jacobson, Peter B. Griffin [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 1998)
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巻号: | 巻: Vol.532 |
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 228p; 24cm |
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識別子: | ISBN: 9781558994386 |
アブストラクト: | |
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所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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217932 | 千現 | プロシーディングス26 | MRS|P|10721 | 在架(利用可能) |