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Silicon front-end technology--materials processing and modelling, symposium held April 13-15, 1998, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Nichoals E.B. Cowern ... [et al.]
著者: Cowern, Nicholas E. B. 出版者: Materials Research Society (出版日: 1998)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 228 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558994386
NCID: BA38704167
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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