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Semiconductor process and device performance modeling : symposium held December 2-3, 1997, Boston, Massachusetts, U.S.A. 
editors, Scott T. Dunham, Jeffrey S. Nelson
著者: Dunham, Scott T. Nelson, Jeffrey Steven 出版者: Materials Research Society (出版日: 1998)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | ix, 273 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558993952
NCID: BA38701726
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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