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Beam Injection Assessment of Defects in Semiconductors ： Proceedings of The 5th International Workshop (BIADS 98), held in Parkhotel Schloss Wulkow near Berlin, Germany, August・September 1998 Vols.63-64 Vols.63-64 
著者: M. Kittler O. Breitenstein A. Endros [et al. editors] 出版者: Scitec Publications Ltd
(出版日: 1998)
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| 巻号: | 巻: Vols.63-64 |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 537p; 25cm ; 25.0 cm. |
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| 識別子: | ISBN: 9783908450399 ISSN: 10120394 |
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