資料の表示
[M]
Chemical Vapor Deposition of Tungsten and Tungsten Silicides : For VLSI/ULSI Applications Technology 
著者: by John E.J. Schmitz 出版者: Noyes Publications
(出版日: 1992-01-01)
| 版: | |
|---|---|
| 巻号: | 巻: Technology |
| 形態: |
冊子体
|
| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 235p; 24cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
|
| 識別子: | ISBN: 9780815512882 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
