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Chemical-mechanical polishing 2001 -- advances and future challenges : symposium held April 18-20, 2001, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Suryadevara V. Babu ... [et al.]
著者: Babu, Suryadevara V. Cadien, Kenneth C. Yano, Hiroyuki 出版者: Materials Research Society (出版日: 2001)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1 v. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558996076
NCID: BA56818816
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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