[M] 次世代の超精密加工技術（上)：超精密平面と面粗さ 上巻

著者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 協力者・編者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 出版者: 産業技術サービスセンター (出版日: 1993)

• 書誌詳細

形態:	冊子体
言語:	日本語
ページ数と大きさ:	397p; 27cm
件名:
分類:	UDC: 621.9
識別子:	ISBN: 9784915957222
アブストラクト:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
216451	千現	単行書12	621.9|J|T-1516	在架（利用可能）

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