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次世代の超精密加工技術（上)：超精密平面と面粗さ 上巻 
著者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 協力者・編者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 出版者: 産業技術サービスセンター (出版日: 1993)
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 冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 397p; 27cm |
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| 識別子: | ISBN: 9784915957222 |
| アブストラクト: |
