[M] 次世代の超精密加工技術（上)：超精密平面と面粗さ 上巻

Creator: 次世代の超精密加工技術編集委員会 Contributor: 次世代の超精密加工技術編集委員会 Publisher: 産業技術サービスセンター (Date of publication: 1993)

• Detail

Form:	Volume
Language:	Japanese
Physical description:	397p; 27cm
Subject:
Classification:	UDC: 621.9
Tag:
Identifier:	ISBN: 9784915957222
Abstract:
Note:

Item identifier	Library	Shelf	Call number	Circulation status
216451	Sengen	Books 12	621.9|J|T-1516	Available On Shelf

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