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超精密平面と面粗さ
次世代の超精密加工技術編集委員会編集
Creator: 次世代の超精密加工技術編集委員会 Contributor: 次世代の超精密加工技術編集委員会 Publisher: 産業技術サービスセンター (Date of publication: 1993-10)
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| Language: | Japanese |
| Physical description: | 397p ; 27cm |
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| Tag: |
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ISBN: 9784915957222
NCID: BN0975749X
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企画:日本工業技術振興協会//編集委員会:小林昭ほか//執筆者:小林昭ほか//各章末:参考文献 |
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