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[M] 次世代の超精密加工技術(上):超精密平面と面粗さ 上巻
著者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 協力者・編者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 出版者: 産業技術サービスセンター
(出版日: 1993)
形態: | 冊子体 |
言語: | 日本語 |
ページ数と大きさ: | 397p; 27cm |
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識別子: | ISBN: 9784915957222 |
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