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超精密平面と面粗さ 
次世代の超精密加工技術編集委員会編集
著者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 協力者・編者: 次世代の超精密加工技術編集委員会 出版者: 産業技術サービスセンター (出版日: 1993-10)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | 日本語 |
| ページ数と大きさ: | 397p ; 27cm |
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| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9784915957222
NCID: BN0975749X
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
企画:日本工業技術振興協会//編集委員会:小林昭ほか//執筆者:小林昭ほか//各章末:参考文献 |
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