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[M] Science and Technology of Semiconductor Surface Preparation : Symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A.; MRS Vol.477 Vol.477
著者: editors, Gregg S. Higashi, Masataka Hirose, Srini Raghavan [et al.] 出版者: Materials Research Society(MRS)
形態: | 冊子体 |
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 545 p. (1 - 545) |
件名: | |
分類: | |
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識別子: | ISBN: 9781558993815 |
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所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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217571 | 千現 | プロシーディングス26 | MRS|P|10453 | 在架(利用可能) |