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Science and technology of semiconductor surface preparation : symposium held April 1-3, 1997, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Gregg S. Higashi ... [et al.]
著者: Higashi, Gregg S. 出版者: Materials Research Society (出版日: 1997)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xiii, 545 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558993815
NCID: BA33623148
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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