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Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis 
edited by Jerome J. Cuomo and Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman
著者:
Cuomo, J. J. Rossnagel, Stephen M. Kaufman, Harold R. 協力者・編者:
edited by Jerome J. Cuomo, Stephen M. Rossnagel, Harold R. Kaufman 出版者:
Noyes Publications (出版日:
1989)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xviii, 438 p. ; 25 cm |
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| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9780815511991
NCID: BA07446307
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| 注記: |
Includes bibliographies and index |
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