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[M] Doping engineering for device fabrication : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A. 冊子体

editors, B.J. Pawlak ... [et al.]
著者: 出版者: Materials Research Society

雑誌・シリーズ情報:
  • Materials Research Society symposium proceedings v. 912
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xi, 213 p. ; 24 cm
件名:
分類:
タグ:
識別子: ISBN: 9781558998681
アブストラクト:

注記:

"This volume contains papers presented at Symposium C, "Sub-Second Rapid Thermal Processing for Device Fabrication," held April 18-19 at the 2006 MRS Spring Meeting in San Francisco, California."--Pref.//Includes bibliographical references and indexes
所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
210869 千現 プロシーディングス26 画像 MRS|P|12345 在架（利用可能）