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Glow discharge processes : sputtering and plasma etching 
Brian Chapman
著者: Chapman, Brian N. 出版者: Wiley (出版日: 1980)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xv, 406 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9780471078289
NCID: BA00536398
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| 注記: |
Includes bibliographical references and index |
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