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Silicon front-end junction formation technologies : symposium held April 2-4, 2002, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Daniel F. Downey ... [et al.]
著者:
Downey, Daniel F. 出版者:
Materials Research Society (出版日:
2002)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 312 p. ; 24 cm |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558996533
NCID: BA5886207X
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| アブストラクト: | |
| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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