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Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces : Proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000 Vols. 76-77 Vols.76-77 
著者: Editors: Marc Heyns, Paul Mertens, Marc Meuris 出版者: Scitec Publications Ltd
(出版日: 2000)
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| 巻号: | 巻: Vols.76-77 |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 321p; 25cm |
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| 識別子: | ISBN: 9783908450573 ISSN: 10120394 |
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