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[M] Ultra clean processing of silicon surfaces 2000 : proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000 冊子体

editors, Marc Heyns, Paul Mertens and Marc Meuris
著者: 出版者: Scitec Publications

雑誌・シリーズ情報:
  • Diffusion and defect data : solid state data pt. B . Solid state phenomena ; v. 76-77
(ISSN: 10120394)
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: xiii, 321 p. ; 25 cm
件名:
分類:
タグ:
識別子: ISBN: 9783908450573 ISSN: 10120394
アブストラクト:

注記:

Includes bibliographical references and indexes

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218743 千現 単行書9 画像 548.526|D|11420 在架(利用可能)