資料の表示
[M]
Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces : Proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000 Vols. 76-77 Vols.76-77
著者: Editors: Marc Heyns, Paul Mertens, Marc Meuris 出版者: Scitec Publications Ltd (出版日: 2000)
版: | |
---|---|
巻号: | 巻: Vols.76-77 |
形態: |
|
言語: | English |
ページ数と大きさ: | 321p; 25cm |
件名: | |
分類: | |
識別子: | ISBN: 9783908450573 ISSN: 10120394 |
アブストラクト: | |
注記: |