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[M] Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces : Proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS 2000), held in Ostend, Belgium, September 18-20, 2000 Vols. 76-77 Vols.76-77 冊子体

著者: 出版者: Scitec Publications Ltd (出版日: 2000)

版:
巻号: 巻: Vols.76-77
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 321p; 25cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9783908450573 ISSN: 10120394
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
218743 千現 単行書9 画像 548.526|D|11420 在架(利用可能)