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[M] Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication 24 24 冊子体

著者: 出版者: Springer (出版日: 1995)

版:
巻号: 巻: 24
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 216p; 25cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9783540583172
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
216829 千現 単行書14 画像 669.05|G|9775 在架(利用可能)