[M] Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication 24 24

著者: Klaus Graff 出版者: Springer (出版日: 1995)

• 書誌詳細

版:
巻号:	巻: 24
形態:	冊子体
言語:	English
ページ数と大きさ:	216p; 25cm
件名:
分類:	UDC: 669.05
識別子:	ISBN: 9783540583172
アブストラクト:
注記:

所蔵情報ID	図書館	本棚	請求記号	貸出状態
216829	千現	単行書14	669.05|Ｇ|9775	在架（利用可能）

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