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Si front-end processing - physics and technology of dopant-defect interactions II : symposium held April 24-27, 2000, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Aditya Agarwal ... [et al.]
著者: Agarwal, Aditya 出版者: Materials Research Society (出版日: 2001)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 1 v. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558995185
ISSN: 02729172
NCID: BA52750594
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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