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Silicon Materials -- Processing, Characterization and Reliability : Symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.716 Vol.716 Vol.716 
著者: editors；Janice L. Veteran, David L. O'Meara, Veena Misra [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS)
(出版日: 2002)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.716 |
| 形態: |
冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 672p; 24cm ; 24.0 cm. |
| 件名: | |
| 分類: | |
| タグ: |
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| 識別子: | ISBN: 9781558996526 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 219476 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|11890 | 在架（利用可能） |