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Silicon materials - processing characterization and reliability : symposium held April 1-5, 2002, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Janice L. Veteran. ... [et al.]
著者: Veteran, Janice L. Materials Research Society 出版者: Materials Research Society (出版日: 2002)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xvii, 672 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558996526
NCID: BA60694309
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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