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Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. 
editors, Duane S. Boning ... [et al.]
著者: Boning, Duane S. Devriendt, Katia Oliver, Michael R. Stein, David J. 出版者: Materials Research Society (出版日: 2003)
| 雑誌・シリーズ情報: |
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冊子体
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | xi, 348 p. ; 24 cm |
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| 識別子: |
ISBN: 9781558997042
NCID: BA65410307
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| 注記: |
Includes bibliographical references and indexes |
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