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Chemical-Mechanical Planarization : Symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.767 Vol.767 Vol.767 
著者: editors；Duane S. Boning, Katia Devriendt, Michael R. Oliver [et al.] 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 2003)
| 版: | |
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| 巻号: | 巻: Vol.767 |
| 形態: |
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| 言語: | English |
| ページ数と大きさ: | 348p; 24cm |
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| 分類: | |
| 識別子: | ISBN: 9781558997042 |
| アブストラクト: | |
| 注記: |
| 所蔵情報ID | 図書館 | 本棚 | 請求記号 | 貸出状態 |
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| 219522 | 千現 |
プロシーディングス26 
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MRS|P|11936 | 在架（利用可能） |