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[M] Chemical-Mechanical Planarization : Symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S.A. ; MRS Vol.767 Vol.767 Vol.767 冊子体

著者: 出版者: Materials Research Society (MRS) (出版日: 2003)

版:
巻号: 巻: Vol.767
形態: 冊子体 冊子体
言語: English
ページ数と大きさ: 348p; 24cm
件名:
分類:
識別子: ISBN: 9781558997042
アブストラクト:

所蔵情報ID 図書館 本棚 請求記号 貸出状態
219522 千現 プロシーディングス26 画像 MRS|P|11936 在架(利用可能)